三星的7nm、5nm、3nm工艺杭州零售业神秘顾客暗访

发布日期：2024-01-06 12:16    点击次数：53

当地技艺12月21日杭州零售业神秘顾客暗访，荷兰光刻机大厂ASML通过酬酢媒体X平台文书，其首套High-NA EUV光刻机正从荷兰Veldhoven总部运转装车发货，将向英特尔进行寄托。

ASML在声明中称：“咱们很欢娱、也很自傲，大致向英特尔寄托咱们的第一个高数值孔径 EUV 系统。”

自2017年ASML的第一台量产的EUV光刻机负责推出以来，三星的7nm、5nm、3nm工艺，台积电的第二代7nm、5nm、3nm工艺的量产皆是依赖于0.33 数值孔径（NA）的EUV光刻机来进行分娩，该类型光刻机的分歧率不错达到8nm。

当今，跟着三星、台积电、英特尔3nm制程的接踵量产，当今这三大先进制程制造厂商皆在积极投资2nm制程及更先进的埃米级制程的研发，以餍足将来高性能诡计等先进芯片需求，并在晶圆代工阛阓的竞争当中获得上风。而2nm及以下的顶端工艺的完毕则可能需要依赖于ASML新一代的0.55数值孔径 (High-NA) EUV光刻机EXE:5000系列。

相干于0.33 NA的EUV光刻机来说，配备0.55 NA透镜的High-NA EUV光刻机的分歧率不错达到更高的8nm分歧率，同期设置的体积也更大，种种组件装在250个单独的板条箱中运载，其中包括13 个大型集装箱，拼装后的High-NA EUV光刻机将比卡车还要大，资本也更是高达3亿至4亿好意思元。

英特尔于 2022 年领先向ASML订购了第一台High-NA EUV光刻机，其他已订购High-NA EUV光刻机的芯片制造商还包括台积电、三星、SK 海力士和好意思光。

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左证磋商，英特尔将在2024年上半年量产Intel 20A制程，下半年将量产更先进的Intel 18A制程。台积电、三星皆将在2025年量产2nm制程。

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英特尔此前曾示意，首套High-NA EUV曝光机将用于学习怎样分娩Intel 18A先进制程，有望使英特尔逾越敌手台积电和三星。因High-NA EUV曝光机与圭臬EUV光刻机相反不小，需大皆修正基础才能，提高使用解释，故逾越敌手几季部署对英特尔是很大上风。

裁剪：芯智讯-林子杭州零售业神秘顾客暗访

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